借用偏光顯微鏡可做微區(qū)成分的分析
發(fā)布人：shpuda發(fā)布時間：2014/1/21
在觀察形貌時，因?yàn)閽呙桦娮酉裥?，不是同時記錄，故能在微小區(qū)域進(jìn)行成分分析和晶體學(xué)分析。掃描電子像是由分解為近百萬個像點(diǎn)，即所謂像素，逐個依次記錄構(gòu)成的。通過掃描電子偏光顯微鏡，除了觀察表面形貌外，還能進(jìn)行成分和元素分布的分析。因?yàn)樵谕粓D像上各點(diǎn)均同時記錄，所以這點(diǎn)在其它類型偏光顯微鏡是辦不到的。
此外，應(yīng)用三透鏡式掃描電子偏光顯微鏡，很容易從微小區(qū)域獲得電子通道圖，進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析。選區(qū)尺寸可局限在10微米到2微米的小區(qū)域。因此，又可以在厚塊樣品小區(qū)域中測定晶體向位、晶胞大小以及斷口附近微小區(qū)域的應(yīng)變等。
由于掃描電子偏光顯微鏡具有上述優(yōu)點(diǎn)，頗受科研工作者的重視，用途日益廣泛。從發(fā)展趨勢來看，它將象光學(xué)顯微鏡那樣普遍地在實(shí)驗(yàn)室中應(yīng)用。
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