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從偏光顯微鏡下的樣品表面獲得的資料多

發(fā)布人:shpuda發(fā)布時(shí)間:2014/1/20

    它可以從樣品表面觀察形貌獲得多方面資料。在掃描電子偏光顯微鏡中,因?yàn)榭梢岳萌肷潆娮雍蜆悠废嗷プ饔盟a(chǎn)生的各種訊號(hào)來構(gòu)成掃描電子像。因此,借助于成像訊號(hào)本身的性質(zhì)和訊號(hào)處理方法,既可獲得“無陰影照明性質(zhì)”的電子像,即二次電子像,也可以獲得“帶陰影照明性質(zhì)”的電子像,即背散射電子像。


    既可采用從兩對(duì)稱方向所接收背散射電子訊號(hào)相加的辦法獲得單純表征元素分布的成分像,也可以采用從兩對(duì)稱方向所接收背散射電子訊號(hào)相減的方法獲得單純表征高低不平的凹凸像,既可以獲得強(qiáng)調(diào)表觀部分的電子像,發(fā)射型電子像,也可以獲得強(qiáng)調(diào)深坑部分的電子像,吸收電子像。


    由此可見,采用掃描電子偏光顯微鏡可以從樣品的表面形貌獲得多方面的資料。

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