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顯微鏡同軸光可以分內(nèi)同軸和外同軸：內(nèi)同軸是指光束通過(guò)物鏡內(nèi)的鏡片落射到被觀測(cè)物體上，外同軸是指圍繞在物鏡外側(cè)的一圈光束，落射到被觀測(cè)物體上。通常內(nèi)同軸是點(diǎn)光，外同軸是環(huán)型光。同軸光的主要特點(diǎn)是光照角度和光學(xué)成相角度小，光線反射就小，觀察物體也就更清晰，通常同軸光主要運(yùn)用在透明觀測(cè)物體上面，比如（晶元、LCD液晶屏幕、CCD鏡頭）我們使用常規(guī)的側(cè)光源照明是不能看到透明物體上的劃痕還有污點(diǎn)，因?yàn)閭?cè)光的反光角度不在成相角度上，所以很難分辨劃痕或者污點(diǎn)。外同軸光也會(huì)多少存在這個(gè)問(wèn)題，因?yàn)樗慕嵌群统上嘟嵌纫膊皇俏呛系?，最好的解決方法就是內(nèi)同軸光，可以清晰的分辨出劃痕還有污點(diǎn)。